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而传统的大体积弱功能传感器往往很难满足上述要求,所以它们已逐步被各种不同类型的微型传感器所取代;后者主要由硅材料构成,德国进口igsu 14d/6d.3-s12厂家,具有体积小、重量轻、反应快、灵敏度高以及成本低等优点
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在当前技术水平下,微切削加工技术已经可以生产出来具有不同层次的3d微型结构,从而可以生产出体积非常微小的微型传感器敏感元件,象毒气传感器、离子传感器、光电探测器这样的以硅为主要构成材料的传感/探测器都装有的敏感元件
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gb7665-87对传感器下的定义是:“能感受规定的被测量件并按照一定的规律( 数学函数法则)转换成可用信号的器件或装置,通常由 敏感元件和转换元件组成”。
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